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半導體車間一般要達到什么凈化級別

2023-10-28 23:19:41   作者:超級管理員  出處:科瓦特

  半導體車間一般要達到較高的凈化級別,通常是在ISO14644-1標準中規定的特定級別。根據ISO14644-1標準,半導體車間一般要達到ISO5級(等同于舊版FS209E標準的Class100級)或更高的凈化級別。

  在ISO14644-1標準中,不同的凈化級別對空氣中的微粒數量有不同的要求。例如,ISO5級要求每立方米空氣中的粒子直徑大于0.5微米的數量不超過3,520個,直徑大于5微米的數量為0個。而更高級別的凈化要求則更加嚴格。

  實現這樣高凈化級別的半導體車間通常需要采取一系列的凈化措施,包括但不限于:

  1.安裝高效過濾器和空氣凈化設備,如HEPA(高效顆??諝猓┻^濾器和ULPA(超高效顆??諝猓┻^濾器,以去除空氣中的微粒。

  2.控制和維護恒定的溫度、濕度和壓力,以保持穩定的環境條件。

  3.確保車間內的清潔程度,包括定期清潔地面、墻壁、設備和工作臺等。

  4.限制人員進入車間,并采取適當的工作服、鞋套和手套等防護措施,以減少人員帶入的微粒。

  這些凈化措施的目的是為了保證半導體制造過程中的產品質量和可靠性,因為微小的顆??赡軙Π雽w器件的性能產生重大影響。因此,半導體車間需要達到較高的凈化級別來確保良好的生產環境。


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